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首頁 > 技術文章

德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)及清洗注意事項

時間:2016-10-21     來源: 北京德高潔清潔設備有限公司

目前,隨著光伏產業(yè)的快速發(fā)展,對多晶硅的需求量也日趨增大。在多晶硅生產設備中,還原爐是整個生產系統(tǒng)的關鍵部件,多晶硅生產企業(yè)要實現節(jié)能降耗就必須嚴格把控還原爐的運行。
 
眾所周知,對還原爐內壁進行清洗處理,就是降低能耗的一種有效的方式,通過提高還原爐內壁光潔度及光亮度,使還原爐在硅棒生長過程中,爐壁在高溫狀態(tài)下,對熱輻射反射率的最大化,從而起到降低能耗的作用。
 
德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
 
德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓清洗機為主機,以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表面,從而完成鐘罩內部表面的水力掃射,并采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,之后再采用高純水沖洗,最終完成清洗過程。
 
一、工作流程
 
還原爐鐘罩到位—預清洗—清洗劑(堿液)清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。
 
二、系統(tǒng)特點
 
1、德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)采用進口高壓泵,耐酸堿、耐高溫。清洗作業(yè)時三維旋轉噴頭實現自驅動旋轉、自動升降、全方位自動清洗,保證多晶硅的純度;
 
2、設置10萬級空氣凈化換熱裝置代替原氮氣電加熱干燥還原爐體工藝;
 
3、自行研發(fā)設計的自驅動旋轉升降噴射機構,一套系統(tǒng)實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干;
 
4、由于清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生,德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染;
 
5、德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)充分利用資源,設計了高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置,并進行凈化使后序清洗水用于前序的漂洗工序;利用多晶硅生產廠家的蒸汽余熱將清洗介質加熱,從而改變原電加熱工藝。
 
三、注意事項
 
多晶硅還原爐內的殘留物及清洗液具有腐蝕性,同時清洗中殘留氯硅烷會發(fā)生水解伴有氫氣產生,容易產生爆鳴燃燒。因此,現場操作中,需要做好安全防護措施。
 
多晶硅還原爐鐘罩清洗前后對比
 
1、清洗過程中必須穿戴好勞保用品,戴防護手套;
 
2、用氫氧化鈉溶液擦洗基盤時操作要緩慢,以免摩擦生熱引起著火;
 
3、基盤清洗過程中要避免溶液流進進料管和尾氣管內造成二次污染,德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染的問題;
 
4、清洗中要保證將鐘罩烘烤干,避免有殘留水分;
 
5、清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實踐經驗解決閃爆等問題。
  • 標簽:
  • 鐘罩
  • 多晶硅
  • 還原爐
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